表面效度指研究工具所测试的内容从“表面”上看起来与其想要测量的内容相似。如一问卷要测量护理人员的洗手状况，问题的内容涉及洗手的次数与洗手时间的长短以及方法等。由于问卷的内容从“表面”上看起来都与洗手状况有关，所以该问卷的表面效度成立。但是表面效度并不能保证其内容效度符合要求。
内容效度 也称“逻辑效度”，指研究工具涉及的内容包括了要测量事物的所有方面。它的判断需要建立在大量文献查阅、工作经验及综合分析的基础上，多由不少于3人，不多于10人的相关专家组进行评定。
结构效度 指研究工具内在的属性，也即一个研究工具能测量什么？结构效度的好坏反映的是研究工具与其依据的理论或概念架构的密切程度。一种常用于估计结构效度的计算方法是因子分析，它是将一个量表中原有的全部问题的得分用数学方式重组，成为若干个数值上互不相干的因子，并将各因子与量表中各条目之间作相关分析，然后再将各因子相关程度高的条目重组、解读、确定各因子的特性；最后将各因子加起来看是否包含于理论或概念架构之内。
